我国自主开发的三氯氢硅优化新工艺达到国际先进水平。在山东新龙硅业科技有限公司采访时了解到，截至3月24日，优化后的三氯氢硅装置不仅实现了三个月的长周期稳定运行，转化率和产品纯度也再创新高，转化率相比去年提高了10%左右，产品纯度提高到99.99%，单炉产能也由同行业最大的5000吨/年提高到12000吨/年，扩大了两倍多。
据了解，优化后的三氯氢硅合成用新型高效高产流化床新工艺不久前通过了专家鉴定。鉴定专家认为，该项目工艺路线合理，产品质量稳定，节能效果明显，生产过程符合环保要求，具有显著的经济和社会效益，总体技术达到国际先进水平。
据该公司技术人员介绍，三氯氢硅不仅是制造硅烷偶联剂和其他有机硅产品的重要中间体，也是制造多晶硅的主要原料，是氯碱企业的一种很好的平衡氯气提高经济效益的产品。传统工艺合成三氯氢硅时，合成工序采用的是冷却水传热流化床。受限于流化床本身的结构，很难将温度控制在适宜的320℃，因此合成的粗品三氯氢硅产品纯度一般不会超过90%。同时传统工艺尾气处理环节一直采用干法除尘，如硅粉和氯化氢处理不彻底，会堵塞冷凝器，导致停车。
针对冷却水传热流化床存在的缺陷，新龙公司开发了新型高效高产流化床反应器。该反应器在生产中先用导热油把反应器中热量带出来，然后再用水在余热锅炉中对导热油降温，从余热锅炉中产生出来的蒸汽则输送到精馏系统进行再利用，精馏系统中产生的冷凝水又可作为余热锅炉降温水使用。这种方式不仅很好地控制了反应器的反应温度，使反应器温度波动较小，能够大幅度提高产品的转化率，同时还提高了装置能效，减少了生产用水。
此外，该公司还对三氯氢硅合成气除尘技术进行了改进，扩大了反应器上半部分，以降低合成气温度和速率，减少后续系统的处理量和硅粉粉尘的带出量，同时又在反应器出口设置了降尘系统，对合成气中的硅粉粉尘进行初步分离，增强设备运行的稳定性。