微污染（中国αβ表面污染测量仪市场调查研究报告）防控的基本原理是：控制微污染物的产生；防止产生交叉污染；采用环境净化技术。通常采取的措施有：空气过滤、超净清洗、无尘擦拭、除尘、隔离保护等方式，如：采用无尘服对人体产生的微污染进行屏蔽隔离；通过洁净室的空气过滤系统保持室内空气洁净；使用无尘擦拭布进行脏污清除；使用净化粘尘垫进行尘埃捕捉，防止扩散；使用无尘电子保护膜对产品进行隔离保护；采用DI水（去离子水）超净清洗来降低离子、颗粒等微污染。
在工业生产过程中，需要对静电与微污染单独进行防控的情形较少，更多情况下需要对两者同时进行防控，尤其是在液晶显示、半导体、硬盘存储等电子信息制造行业。首先，静电对尘埃具有吸附作用，会造成液晶面板、集成电路和半导体组件的污染，大大降低成品率。因此，在对生产环境洁净度有很高要求的产品制造过程中，在进行微污染防控的同时也必须进行静电防控，以取得最佳的防控效果；其次，在半导体、液晶显示、精密仪器、航空航天等诸多领域，静电与微污染两者均会对产品的成品率、可靠性产生重大不利影响，防静电包装袋和高洁净度均属于必须的生产条件；再次，从静电与微污染产生的来源看，两者在很大程度上相同。